半导体材料检测项目标准及流程是什么？实验室可依据GB/T 14849.4-2014工业硅化学分析方法 第4部分:电感耦合等离子体原子发射光谱法测定元素含量检测标准规范中的试验方法，对半导体材料工业硅中铁、铝、钙含量检测等项目进行准确测试。
检测对象
半导体材料
检测项目
工业硅中铁、铝、钙含量检测
检测标准
GB/T 14849.4-2014工业硅化学分析方法 第4部分:电感耦合等离子体原子发射光谱法测定元素含量检测
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检测流程步骤
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