GB/T 39516-2020.Micro nano standard samples( geometric).
1范围
GB/T 39516规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
GB/T 39516适用于线间隔为0.05μm~10μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01μm~100μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其较新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 17163-2008几何 量测量器具术语基本术语
GB/T 25915.1-2010洁净室 及相关受控环境第1部分:空气洁净度等级
3术语和定义
GB/T 17163-2008界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
微纳米标准样板(几何量) micro nano standard samples geometric)
具有微纳米级线间隔、台阶高度、薄膜厚度、线宽几何特征结构的，可用于微纳米测量的标准样板。
3.2
线间隔 pitch
具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距P不大于10μm的周期性刻线。以相邻同侧周期性刻线边缘之间的距离或相邻周期性刻线几何结构中心之间的距离表征刻线间隔。
注:线间隔示意图见图1所示。
3.3
台阶高度 step height
具有微纳米级准确度和均匀性的台阶或沟槽。
3.4
薄膜厚度 film thickness
由硅基底表面和生长层薄膜表面所确定的厚度量值。
注:薄膜厚度定义示意图见图3所示。
3.5
线宽 line width
线条两侧平均线边缘之间的距离。
注:线宽示意图见图4所示。

检测流程步骤

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