GB/T 8763-2020.Test methods for gas absorption characteristic of non-evaporation gettering materials and products.
1范围
GB/T 8763规定了真空器件用锆铝合金粉、吸气用锆铝合金环件和片件、吸气用锆铝合金复合带材、释汞吸气用钛汞-锆铝合金复合带材、室温吸气用锆石墨材料和制品等非蒸散型吸气材料及制品的吸气速率和吸气量的检测方法、检测结果的处理及试验报告。
GB/T 8763适用于真空器件用锆铝合金粉、吸气用锆铝合金环件和片件、吸气用锆铝合金复合带材、释汞吸气用钛汞-锆铝合金复合带材、室温吸气用锆石墨材料和制品等非蒸散型吸气材料及制品的吸气速率和吸气量的测定。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其较新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 4314吸 气剂术语
GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
3术语和定义
GB/T 4314界定的术语和定义适用于本文件。
4原理
当测试真空系统处于分子流状态时,气体流过已知流导的流导元件,由于吸气材料的吸气作用,在流导元件两端出现压强差。采用“定压法”,恒定一端压强,测试另一端压强随时间的变化值,通过计算可得出吸气速率和吸气量。
5材料
5.1 氢气(体积分数不小于9999%)。
5.2 氮气(体积分数不小于9999%)。
5.3 一氧化碳(体积分数不小于99.99%)。
6仪器设备
6.1 真空系统如图1所示,应满足以下要求:
真空球直径100 mm~160 mm;
流导元件流导值的选择应以进气室具有较大吸气速率时,测试气体仍以分子流状态通过流导元件,并且可保证准确测量进气室压强直至吸气速率降低至初始吸气速率的5%;

检测流程步骤

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