标准简介：本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。

标准号：GB/T 15909-1995

标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)

英文名称：Gas for electronic industry－Silane

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1995-01-02

实施日期：1996-08-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

替代以下标准：被GB/T 15909-2009代替

起草单位：化工部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局

检测流程步骤

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