标准简介：本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板。
标准号：GB/T 15871-1995
标准名称：硬面光掩模基板
英文名称：Hard surface photomask substrates
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：1995-01-02
实施日期：1996-08-01
中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
国际标准分类号（ICS）：31.030
起草单位：长沙韶光微电子总公司
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位：国家技术监督局
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