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检测项目
机械性能、纯度、晶粒度、密度、组织均匀性、疲劳试验等。
检测范围
钛靶材、ITO靶材、金属靶材、镀膜靶材、合金靶材、铝靶材、旋转靶材、铜靶材、陶瓷靶材、半导体靶材等。
检测标准
XB/T515-2020钪铝合金靶材
YS/T1158.1-2016铜铟镓硒靶材化学分析方法第1部分：镓量和铟量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
YS/T1156-2016铜铟镓硒靶材
YS/T937-2013镍铂靶材
YS/T936-2013集成电路器件用镍钒合金靶材
YS/T935-2013电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
YS/T893-2013电子薄膜用高纯钛溅射靶材
YS/T837-2012溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T826-2012五氧化二铌靶材
YS/T819-2012电子薄膜用高纯铜溅射靶材
YS/T719-2009平面磁控溅射靶材光学薄膜用硅靶
YS/T718-2009平面磁控溅射靶材光学薄膜用铌靶
YS/T1235-2018钼钛合金(MoTi)靶材
YS/T1234-2018铬钼合金(CrMo)靶材
T/NXCL004-2021旋转硅靶材
T/NXCL003-2021平面硅锗靶材
T/CSRE19001-2020金属镱靶材
GB/T23611-2009金靶材
T/ZZB0639-2018氧化锌铝磁控溅射靶材
DB45/T2109-2019铜铟镓硒太阳能光伏电池靶材中硒含量的测定容量法
检测流程步骤
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