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光阻检测哪些项目指标?

参考答案:

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1. 光阻:光阻是一种可以用于半导体工艺中的光刻步骤的材料。它具有光敏性,可以在光照下发生化学反应,形成可溶解或不可溶解的模式。光阻对于制造集成电路和光子学器件非常重要。

温馨提示:以上内容仅供参考使用,更多检测需求请咨询客服。

检测流程步骤

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