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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
标准号：GB/T 28276-2012
标准名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2012-05-11
实施日期：2012-12-01
中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学
起草单位：中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布单位：国家质量监督检验检疫.
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