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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质素和非金属杂质素含量的测定。本标准包括杂质素（十六个）的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氘子活化仪器分析方法。
标准号：GB 4298-1984
标准名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
英文名称：The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
标准类型：国家标准
标准性质：强制性
标准状态：现行
发布日期：1984-03-28
实施日期：1985-03-01
中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类号（ICS）：29.040.30
替代以下标准：废止公告：国家标准公告2017年第31号
起草单位：有色金属研究总院
归口单位：中国有色金属工业协会
发布单位：国家标准局
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