检测报告图片模板：
检测执行标准信息一览：
标准简介：本文件规定了碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的定量分析，测定范围为硼含量不小于5×1013 cm-3、铝含量不小于5×1013 cm-3、氮含量不小于5×1015 cm-3，元素浓度（原子个数百分比）不大于1%。
标准号：GB/T 41153-2021
标准名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
英文名称：Determination of boron,aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类号（ICS）：冶金>>77.040金属材料试验
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、
发布单位：国家市场监督管理总局.
标准文档查询及下载
免责声明：(更多标准请先联系客服查询！)
1.本站标准库为非营利性质，仅供各行人士相互交流、学习使用，使用标准请以正式出版的版本为准。
2.全部标准资料均来源于网络，不保证文件的准确性和完整性，如因使用文件造成损失，本站不承担任何责任。
3.全部标准资料均来源于网络，本站不承担任何技术及版权问题，如有相关内容侵权，请联系我们删除。
