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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
标准号：GB/T 32814-2016
标准名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学
起草单位：西北工业大学、中机生产力促进中心
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布单位：国家质量监督检验检疫.
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