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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
标准号：GB/T 26113-2010
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
英文名称：Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学
起草单位：中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布单位：国家质量监督检验检疫.
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