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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测试方法。本标准适用于GaAs、InP(GaP、GaSb可参照进行)等化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测量。
标准号：GB/T 26070-2010
标准名称：化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
英文名称：Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>77.040.99金属材料的其他试验方法
起草单位：中国科学院半导体研究所
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/T
发布单位：国家质量监督检验检疫.
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