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检测执行标准信息一览:
标准简介:本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
标准号:GB/T 39163-2020
标准名称:靶材与背板结合强度测试方法
英文名称:Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2020-11-19
实施日期:2021-10-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H22金属力学性能试验方法
国际标准分类号(ICS):试验>>19.060机械试验
起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布单位:国家市场监督管理总局.
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