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GB/T39159-2020集成电路用高纯铜合金靶材

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检测执行标准信息一览:

标准简介:本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材(以下简称靶材)的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝(CuAl)合金靶材和高纯铜锰(CuMn)合金靶材。

标准号:GB/T 39159-2020

标准名称:集成电路用高纯铜合金靶材

英文名称:High purity copper alloy target for integrated circuit

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2020-11-19

实施日期:2021-10-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>有色金属及其合金产品>>H62重金属及其合金

国际标准分类号(ICS):冶金>>有色金属产品>>77.150.30铜产品

起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波微泰真空技术有限公司

归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位:国家市场监督管理总局.

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