- N +

GB/T31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

检测报告图片模板:

检测报告图片

检测执行标准信息一览:

标准简介:本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra 小于100nm 的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。

标准号:GB/T 31227-2014

标准名称:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

英文名称:Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2014-09-30

实施日期:2015-04-15

中国标准分类号(CCS):机械>>机械综合>>J04基础标准与通用方法

国际标准分类号(ICS):计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.20表面特征

起草单位:上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心

归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)

发布单位:国家质量监督检验检疫.

标准文档查询及下载

免责声明:(更多标准请先联系客服查询!)

1.本站标准库为非营利性质,仅供各行人士相互交流、学习使用,使用标准请以正式出版的版本为准。

2.全部标准资料均来源于网络,不保证文件的准确性和完整性,如因使用文件造成损失,本站不承担任何责任。

3.全部标准资料均来源于网络,本站不承担任何技术及版权问题,如有相关内容侵权,请联系我们删除。

返回列表
上一篇:GB/T50899-2013房地产估价基本术语标准
下一篇:GB/T50801-2013可再生能源建筑应用工程评价标准