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检测执行标准信息一览：
标准号：GB/T 24468-2009
标准名称：半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
英文名称：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM)
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2009-10-15
实施日期：2009-12-01
中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子测量与仪器>>L85电子测量与仪器综合
国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.30测量仪器仪表
起草单位：中国电子技术标准化研究所
归口单位：469-203 全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位：国家质量监督检验检疫.
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