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检测执行标准信息一览:
标准简介:本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
标准号:GB/T 14015-1992
标准名称:硅--蓝宝石外延片
英文名称:Silicon on sapphire epitaxial wafers
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:1992-01-02
实施日期:1993-08-01
中国标准分类号(CCS):电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
国际标准分类号(ICS):29.040.30
起草单位:天津半导体技术研究所
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位:国家技术监督局
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