检测报告图片模板:
检测执行标准信息一览:
标准简介:本标准用于标称圆形晶片边缘平直部分长度小于等于65mm 的电学材料。本标准仅对硅片精度进行确认,预期精度不因材料而改变。本标准适用于仲裁测量,当规定的限度要求高于用尺子和肉眼检测能够获得的精度时,本标准也可用于常规验收测量。
标准号:GB/T 13387-2009
标准名称:硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法
英文名称:Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
国际标准分类号(ICS):电气工程>>29.045半导体材料
替代以下标准:替代GB/T 13387-1992
起草单位:有研半导体材料股份有限公司
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
发布单位:国家质量监督检验检疫.
标准文档查询及下载
免责声明:(更多标准请先联系客服查询!)
1.本站标准库为非营利性质,仅供各行人士相互交流、学习使用,使用标准请以正式出版的版本为准。
2.全部标准资料均来源于网络,不保证文件的准确性和完整性,如因使用文件造成损失,本站不承担任何责任。
3.全部标准资料均来源于网络,本站不承担任何技术及版权问题,如有相关内容侵权,请联系我们删除。