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GB/T13387-2009硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

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检测执行标准信息一览:

标准简介:本标准用于标称圆形晶片边缘平直部分长度小于等于65mm 的电学材料。本标准仅对硅片精度进行确认,预期精度不因材料而改变。本标准适用于仲裁测量,当规定的限度要求高于用尺子和肉眼检测能够获得的精度时,本标准也可用于常规验收测量。

标准号:GB/T 13387-2009

标准名称:硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

英文名称:Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2009-10-30

实施日期:2010-06-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

国际标准分类号(ICS):电气工程>>29.045半导体材料

替代以下标准:替代GB/T 13387-1992

起草单位:有研半导体材料股份有限公司

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

发布单位:国家质量监督检验检疫.

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