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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度1012～1021cm-3(电阻率0.0001~10，000Ω·cm)掺硼硅单晶和1012~5×1020cm-3(电阻率0.0002~4,000Ω·cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算，也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。
标准号：GB/T 13389-1992
标准名称：掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
英文名称：Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
发布日期：1992-02-19
实施日期：1992-10-01
中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
国际标准分类号（ICS）：29.040.30
替代以下标准：被GB/T 13389-2014代替
起草单位：峨嵋半导体材料研究所
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位：国家技术监督局
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