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检测执行标准信息一览:
标准简介:本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。
标准号:GB/T 13387-1992
标准名称:电子材料晶片参考面长度测量方法
英文名称:Test method for measuring flat length on slices of electronic materials
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:作废
发布日期:1992-02-19
实施日期:1992-10-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
国际标准分类号(ICS):29.040.30
替代以下标准:被GB/T 13387-2009代替
起草单位:北京有色金属研究总院
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位:国家技术监督局
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