检测报告图片模板:
检测执行标准信息一览:
标准简介:本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等,适用于从分离空气或氨还原法制得的氮,在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压,也用于化学气相淀积时的载气等。
标准号:GB/T 16944-1997
标准名称:电子工业用气体 氮
英文名称:Gases for electronic industry--Nitrogen
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:作废
发布日期:1997-08-13
实施日期:1998-05-01
中国标准分类号(CCS):化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
国际标准分类号(ICS):化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
替代以下标准:被GB/T 16944-2009代替
起草单位:化学工业部西南化工研究院
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位:国家技术监督局
标准文档查询及下载
免责声明:(更多标准请先联系客服查询!)
1.本站标准库为非营利性质,仅供各行人士相互交流、学习使用,使用标准请以正式出版的版本为准。
2.全部标准资料均来源于网络,不保证文件的准确性和完整性,如因使用文件造成损失,本站不承担任何责任。
3.全部标准资料均来源于网络,本站不承担任何技术及版权问题,如有相关内容侵权,请联系我们删除。