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GB/T16944-1997电子工业用气体氮

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检测执行标准信息一览:

标准简介:本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等,适用于从分离空气或氨还原法制得的氮,在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压,也用于化学气相淀积时的载气等。

标准号:GB/T 16944-1997

标准名称:电子工业用气体 氮

英文名称:Gases for electronic industry--Nitrogen

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:作废

发布日期:1997-08-13

实施日期:1998-05-01

中国标准分类号(CCS):化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号(ICS):化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

替代以下标准:被GB/T 16944-2009代替

起草单位:化学工业部西南化工研究院

归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位:国家技术监督局

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