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检测执行标准信息一览：
标准简介：本规范规定若干种标准测试图形，用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。
标准号：GB/T 16878-1997
标准名称：用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
英文名称：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学
起草单位：中国科学院缩微电子中心
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位：国家技术监督局
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