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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。
标准号：GB/T 16527-1996
标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂
英文名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学
起草单位：长沙韶光微电子总公司
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位：国家技术监督局
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