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检测执行标准信息一览：
标准号：GB/T 12964-1996
标准名称：硅单晶抛光片
英文名称：Monocrystalline silicon polished wafers
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
发布日期：1996-11-04
实施日期：1997-04-01
中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29.045半导体材料
替代以下标准：GB 12964-1991;被GB/T 12964-2003代替
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