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GB/T20307-2006纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

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检测执行标准信息一览:

标准简介:本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm-500nm的点或线的间距。

标准号:GB/T 20307-2006

标准名称:纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

英文名称:General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2006-07-19

实施日期:2007-02-01

中国标准分类号(CCS):仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器

国际标准分类号(ICS):计量学和测量、物理现象>>17.040 长度和角度测量 成像技术>>37.020光学设备

起草单位:中国科学院地质与地球物理研究所、同济大学,中国科学院化学所,中国地质科学院矿产资源研究所,上海理工大学

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

发布单位:国家质量监督检验检疫.

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