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检测执行标准信息一览：
标准简介：本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。
标准号：GB/T 16524-1996
标准名称：光掩模对准标记规范
英文名称：Specification for registration marks for photomasks
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合
国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学
起草单位：中国科学院微电子中心
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位：国家技术监督局
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