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检测执行标准信息一览：
标准简介：本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。
标准号：GB/T 20175-2006
标准名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
英文名称：Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
起草单位：清华大学电子工程系
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
发布单位：国家标准化管理委员.
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